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1、
The micro-actuators are fabricated by use of DRIE on SOI wafer.
本文中的微执行器采用深层反应离子刻蚀(DRIE)技术在硅隔离衬底(SOI)硅片上制作.
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2、
光怪陆离的喧嚣，成龙、约翰·库萨克（John Cusack）、阿德里安·布洛迪（Adrien Brody）的表演与万马奔腾的壮观景象不过是大场面的一部分，但在这一切盛大景象之中却很难寻觅一丝人性的脉搏。
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3、
The rooting effect of the structure in deep reactive ion etching ( DRIE ) process was investigated.
给出了加速度计的制作工艺流程,研究了解决深 反应离子刻蚀 过程中的过刻蚀现象的方法.
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