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文中给出了一个以氟化氪固体激光器做光源，以电荷耦合图像传感器为光屏，应用夫朗禾费衍射原理，实现对细丝直径在线检测自动控制。
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Dependence of optimized condition of KrF laser output on saturation parameters
KrF准分子激光的饱和参量与最佳激光输出
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Fabrication of Zero order Nulled Silica Phase Masks for 248 nm KrF Excimer Laser
248nm KrF准分子激光零级抑制石英相位掩模器的研制
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实验研制了针对波长248nm KrF准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。
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