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硅通孔（Through Silicon Via，TSV）技术是一种应用于高密度三维封装中的新兴互连技术。
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典则 TSVD 方法是求解线性不适定问题的一种很好的正则化方法.
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考虑到成本，精度控制等因素，一般倾向于使用干法刻蚀来制作TSV。
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TSV技术主要采用ICP-RIE工艺，将MEMS技术应用于未来的主流封装技术将会进一步加快MEMS产业的速度。
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- shock n.震惊，打击;令人震惊的事;冲击（力）;休克;触电;剧烈震动;减震器;浓密的一堆（头发）;v.使震惊/气愤/厌恶;打击;
- reject v.拒绝考虑;摈弃;不录用;不出版;冷漠对待;对…产生排斥反应;n.残次品;不合格者;
- grand adj.宏伟的;壮丽的;不可一世的;快乐的;了不起的;总括的;大的;n.一千美元/英镑;
- license vt. 同意;发许可证;n. 执照，许可证；特许;
- explicit adj.易于理解的;明确的;直言的;
- puzzled adj.困惑的，糊涂的，茫然的;v.( puzzle的过去式)使迷惑，使难解;
- low adj.低的，矮小的;楼下的，低洼的;沮丧的;下贱的;离地面近的;在底部的;近底部的;领口开得低的adv.低;低声地;谦卑地;底下地;向下;不高;在靠近…底部的位置;向…底部;低于通常(或期望)的水平
- furnished adj.家具，有家具的;v.陈设，布置( furnish的过去式和过去分词);提供，装备;
- go out 外出交际，外出娱乐;与…交往，与…谈恋爱（或有性关系）;不复存在，被替代，过时;被淘汰，出局;（消息）被宣布，被发表，被传播;刻意，故意;出国（生活、工作）;（潮水）退去;被送出;（灯）熄灭，（燃烧物）熄灭;（电视或广播节目）播出
- convince v.使相信;说服;
- H1N1 n.H1N1型;H1N1型流感病毒;墨西哥猪流感病毒;2009.3月底爆发的一种新型病毒
- silver n.银;银币;银器;银色;adj.银色的;银质的;
