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1、
技术是一种三维微细加工技术,由深刻蚀 、 微电铸和微复制三种工艺组成.
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2、
3、
Stencil manufacturing techniques include chemical etching, laser cutting and electroforming.
钢网制作技术包括化学腐蚀, 激光切割和电铸.
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4、
本文主要阐述了LIGA技术 的工艺过程, 包括 X 射线深层光刻 、 微电铸和微复制工艺.
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