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The development of novel coatings with improved EUV performance is presented.
本单位致力于开发在此波段具有更好性能的新型薄膜。
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A new design of complex space soft X-ray and EUV telescope for space observation is reported.
根据空间对日观测的需要，提出了一种复合型宽波段范围的软X射线&极紫外望远镜的设计方案。
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Effects of solar activity on EUV absorption processes in the upper atmosphere
太阳活动对EUV辐射在大气中吸收过程的影响
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7、
利用Bruning绝对测量方法对EUVL微缩投影光学系统的两个球面进行了高精度检测，检测的精度比用Zygo干涉仪直接检测有明显的提高。
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