最终结果是,在EVG501晶圆键合机上,两个活化的表面在低温下通过施加一个适中的、均匀的接触压力而连接在一起,保证了空腔密封并防止了小结构的破坏和变形。
互联网摘选
EVG与双金属离子的螯合作用及对loop区的稳定作用更强,计算所得其与IN结合自由能更低,这些都证明EVG对IN链转移过程的抑制活性更高。
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最终结果是,在EVG501晶圆键合机上,两个活化的表面在低温下通过施加一个适中的、均匀的接触压力而连接在一起,保证了空腔密封并防止了小结构的破坏和变形。
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EVG与双金属离子的螯合作用及对loop区的稳定作用更强,计算所得其与IN结合自由能更低,这些都证明EVG对IN链转移过程的抑制活性更高。
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