在对湿法腐蚀微加工陶瓷材料工艺方法探索的基础上,确定了准分子激光微加工的技术路线,用该方法制作了不同结构参数的陶瓷微热板器件。
互联网摘选
Study on the Al/ Ag doping functional gradient thin films deposited by pulsed excimer laser
脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜
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在对湿法腐蚀微加工陶瓷材料工艺方法探索的基础上,确定了准分子激光微加工的技术路线,用该方法制作了不同结构参数的陶瓷微热板器件。
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脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜
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