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利用Bruning绝对测量方法对EUVL微缩投影光学系统的两个球面进行了高精度检测，检测的精度比用Zygo干涉仪直接检测有明显的提高。
互联网摘选
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- cursor n.(计算机荧光屏上的)光标，游标
- amaze vt.使大为吃惊，使惊奇;n.吃惊，好奇;
- scientific adj.科学（上）的;细致严谨的;
- evil adj.邪恶的;有害的;令人作呕的;n.罪恶;坏处;
- possess v.拥有;具备;控制;使言行失常;
- track n.小道;跑道;铁轨;站台;歌曲;音轨;足迹;路径;班级;滑轨;履带;v.跟踪;追踪…的动向;跟踪摄影;留下足迹;探究;按能力分组;
- pot n.罐;一罐;（某种用途的）容器;陶盆;锅;vt.把…栽入盆中;种盆栽;台球、普尔和斯诺克击（球）入袋;射杀;
- afterward adv.<美>以后，过后;
- one ok rock 乐队;排练;翻唱;巡演;
- close vt. 关;结束;使靠近;vi. 关;结束;关闭;
- quilt n.被子，棉被;被状物;v.缝（被）;用垫料填塞后缝拢;东拼西凑地做;用摘抄等方法编辑;
- personal leave 事假;要请事假
