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采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析
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本文还提出了有关中性松香施胶剂中松香酯成分由于TMAH作用而产生的酯交换问题及其解决办法。
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对目前国内外市场需求进行了综合分析，指出了目前该领域遇到的挑战和机遇。介绍了作者在TMAH合成和提纯方面取得的进展。
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Preparation of tetramethyl ammonium hydroxide ( I) application of TMAH solution in MEMS
四甲基氢氧化铵（TMAH）的制备（Ⅰ）四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用
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7、
本文比较了在不同温度条件下ABS胶膜在KOH和TMAH溶液中的抗腐蚀特性。
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