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1、
2、
超高/极高真空校准装置由极高真空（XHV）系统、超高真空（UHV）系统、流量分流系统和供气系统四部分组成。
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3、
最后提出一种极高真空鞍场规，与上述几种电离规相比，具有电极尺寸小、灵敏度高、吸放气率低等优点。
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