X-ray光刻(XRL)是微/纳米光刻技术中至关重要的批量复制技术,XRL的发展在于不断对X-ray源、新型的stepper、X线掩模版以及相关处理工艺的研究进展。
互联网摘选
The X ray mask give an important effect on the resolution of XRL and it's efficiency and expenses.
其中,X线掩模版不仅直接关系到XRL的分辨率水平,也极大地影响其使用效率及其费用。
互联网摘选
理论模拟还表明,采用1%左右的预脉冲强度并对预主脉冲时间间隔进行优化,X光激光的输出能量和能量转换效率将获得大幅度提高。
互联网摘选
本文以XRL型铝衬套复合胶辊为例,运用静态和动态应力、应变理论,分析了运转过程中胶管、铝管承受加压后所产生之压缩应力及拉伸应力情况;
互联网摘选
光刻技术是推动集成电路制造业不断向前发展的关键技术,X射线光刻技术是下一代光刻技术的一种,具有产业化的应用前景。
互联网摘选
2018年9月22日星期六,在香港广深港快线(XRL)终点站西九龙站,大陆港区的地面上显示着“边境候检区域”的标识,西九龙站为广深港高铁的香港终点站。
互联网摘选
