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本文着重论述了田口式参数设计法在半导体制造中对线宽的质量控制.
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田口博士创立的稳健参数设计是质量工程学的理论核心.
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然后采用Duncan成本模型和Taguchi质量损失函数,设计了多工序综合质量损失模型.
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Development of Quality Engineering Optimization System Based on Taguchi Method
基于田口法的产品质量工程优化系统开发
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