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采用微波电子回旋 共振 磁过滤弧设备制备钛氧薄膜.
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Silicon dioxide thin films were prepared by reactive RF magnetron sputtering on silicon substrate.
采用磁控射频反应溅射法在单晶硅片上制备了二氧化硅薄膜.
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Thin film manganin gages and ytterbium gages were fabricated by magnetron sputtering.
采用磁控溅射法制备锰铜薄膜,溅射和真空蒸发法制备镱薄膜.
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采用射频 磁控溅射 技术制备出硼碳氮 ( BCN ) 薄膜.
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方法: 用电子束蒸发和射频磁控溅射两种技术制备了天然HA薄膜.
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The generator represents magnetron, packaged with constant magnets in ceramic-metal execution.
该磁控管采用金属陶瓷封装,装有永磁体.
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利用微波ECR等离子体增强磁控溅射沉积技术在玻璃表面制备了硅膜.
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第五章研究了直流磁控溅射制备Sb掺杂 TiO2的成膜特点.
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利用低频反应磁控溅射制备五氧化二铌光学薄膜.
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Magnetron is often used as microwave power source in clinical linac magnetron.
在医用直线加速器中通常都采用磁控管作为微波功率源.
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本文将主要叙述等离子溅射镀膜的原理与方法,并且简单介绍磁控管溅射仪和锇等离子镀膜仪等.
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